光谱共焦传感器多参数高准确度校准

作     者：杨品澒 唐波 崔建军 陈恺 宋佩颉 彭璐 YANG Pinhong;TANG Bo;CUI Jianjun;CHEN Kai;SONG Peijie;PENG Lu

作者机构：中国计量大学计量测试工程学院浙江杭州310018 中国计量科学研究院北京100029 甘肃省计量研究院甘肃兰州730071 西藏自治区计量测试所西藏拉萨850010 交通运输部公路科学研究院北京100029 

出 版 物：《计量学报》 (Acta Metrologica Sinica)

年 卷 期：2024年第45卷第3期

页      面：412-418页

学科分类：08[工学] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0804[工学-仪器科学与技术] 

基　　金：西藏自治区科技计划项目(XZ202301YD0004C) 中国计量科学研究院科研项目(AKYZD2307,AKYZZ2204) 

主　　题：几何量计量 光谱共焦传感器 干涉仪非线性 测点修正算法 测量不确定度 

摘      要：针对高准确度光谱共焦传感器缺乏相应校准装置及方法的问题,提出了一种基于激光干涉测量的校准方法,并研制了相应的校准装置。一方面,提出了一种波长倍数间隔测量法,通过位移反馈控制将位移间隔设置为激光波长的整数倍,以减小激光干涉仪非线性误差对测量的影响;另一方面,提出了测点修正算法,消除了受检点处位移标准值因校准装置定位准确度限制不重合对测量的影响。实验结果表明:在0~100μm的测量范围内,示值误差为±23 nm,重复性为5 nm,示值误差测量结果的扩展不确定度U_(2)=7.0 nm(k=2)。构建的校准装置在0~50 mm的测量范围内的示值误差测量结果不确定度为U_(1)=3.0 nm+2×10^(-7)L(k=2)。