用于FBG解调的AWG芯片的设计、仿真与制备

作     者：李姝锋 袁配 黎婷 李丙祥 许然 杨奕瑶 祝连庆 LI Shufeng;YUAN Pei;LI Ting;LI Bingxiang;XU Ran;YANG Yiyao;ZHU Lianqing

作者机构：北京信息科技大学光电测试技术及仪器教育部重点实验室北京100016 北京信息科技大学光纤传感与系统北京实验室北京100016 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：2024年第45卷第1期

页      面：69-73页

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金项目(62205030) 北京市教育委员会科学研究计划项目(KM202211232019) 

主　　题：阵列波导光栅 绝缘体上硅 光纤传感 光纤光栅解调系统 光子集成 

摘      要：设计、仿真并制备了一种用于光纤布拉格光栅(FBG)解调的阵列波导光栅(AWG)芯片。该芯片基于SOI衬底进行制备,并在AWG的输入/输出波导、阵列波导与平板波导之间采用双刻蚀结构进行优化。经仿真,该AWG的插入损耗为1.5 dB,串扰小于-20 dB,3 dB带宽为1.5 nm。优化后的AWG芯片采用深紫外光刻技术、电感耦合等离子体等技术制备。经测试,该AWG的插入损耗为3 dB,串扰小于-20 dB,3 dB带宽为2.3 nm。搭建了基于该AWG的解调系统,解调实验结果表明,该系统在0.8 nm范围内的解调精度可达11.26 pm,波长分辨率为6 pm。