安装误差对于电场式圆时栅传感器测量精度的影响规律及抑制方法

作     者：于沛玉 王合文 王祥虎 吴昶亮 展丙男 YU Peiyu;WANG Hewen;WANG Xianghu;WU Changliang;ZHAN Bingnan

作者机构：重庆理工大学机械检测与装备技术教育部工程研究中心重庆400054 时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室重庆400054 通用技术集团国测时栅科技有限公司重庆400039 北京理工大学机械与车辆学院北京100081 

出 版 物：《重庆理工大学学报（自然科学）》 (Journal of Chongqing University of Technology：Natural Science)

年 卷 期：2024年第38卷第2期

页      面：132-140页

学科分类：08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 

基　　金：重庆市教委“成渝地区双城经济圈建设”科技创新项目(KJCX2020043)。 

主　　题：安装误差 多测头 纳米时栅 测量精度 

摘      要：在纳米时栅传感器安装过程中,转子相对于定子的偏心或偏摆,是角位移传感器整周测量误差的主要来源。运用面积积分法进行数学建模,分析在安装不满足正对平行条件时的整周误差及其谐波频次,揭示采用多个电极进行信号拾取会具有一种匀化效应,能够减小由安装带来的谐波误差。采用印制电路板(PCB)工艺制造直径为305 mm的传感器样机,在不同测头数量的条件下进行精度对比实验。实验结果表明:多测头结构能够对整周误差产生抑制与匀化作用,使传感器整周测量精度达到1.5″,接近平行正对安装时的测量精度,验证了多测头结构对安装误差的抑制作用。