高灵敏度柔性多层等强度梁式力传感器的设计
Design of High Sensitivity Flexible Multilayer Equal Strength Beam Force Sensor作者机构：西安建筑科技大学理学院陕西710055
出 版 物：《集成电路应用》 (Application of IC)
年 卷 期：2024年第41卷第2期
页 面：402-403页
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
摘 要：阐述设计并制备的一种柔性多层等强度梁式传感器,通过力移加载试验对传感器电容变化量与梁自由端力进行测试,传感器对力的灵敏度最高为1.855mN/pF,具有高灵敏度与线性度。
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