飞秒激光制备硬脆材料红外微光学器件及应用（特邀）

作     者：祁金勇 郑家鑫 张鑫 赵智炎 刘子健 田克帅 李超 刘学青 

作者机构：吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2024年第4期

页      面：286-303页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金(62105117) 吉林省重大科技专项(20220301003GX) 

主　　题：激光技术 飞秒激光 硬脆材料 红外微光学器件 红外微光学应用 

摘      要：近年来，红外微光学器件由于在红外传感与成像、红外探测等领域中具有重要的应用价值而得到了飞速发展，直接在硬脆材料衬底上制备的红外微光学器件更是在苛刻环境应用领域中具有不可代替的作用。针对此需求，已经有研究人员提出了多种高精密制造方法。其中，飞秒激光加工由于真三维加工等独特优势已经被广泛应用于各种复杂三维微纳结构的制备，也为解决硬脆材料红外微光学器件的制备问题提供了新的思路。从飞秒激光加工技术、常用红外光学材料以及基于飞秒激光加工的硬脆材料红外微光学器件的制备和应用方面入手，梳理了近些年此领域的发展情况，重点介绍了折射器件和衍射器件等红外微光学器件以及飞秒激光加工技术在红外传感与成像、红外探测等领域中的应用，并对飞秒激光加工硬脆材料红外微光学器件的发展趋势进行了展望。