硬质合金表面预处理状态对TiAlCrSiN/TiAlN涂层结构与机械性能的影响

作     者：余晶 敬正彪 鲜广 冉龙姣 YU Jing;JING Zhengbiao;XIAN Guang;RAN Longjiao

作者机构：成都工业职业技术学院智能制造与汽车学院成都610218 四川大学机械工程学院成都610065 成都大学机械工程学院成都610106 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2024年第44卷第3期

页      面：272-278页

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：四川省自然科学基金项目(2023NSFSC0416) 成都工业职业技术学院校级科研项目(2022YJ-40) 

主　　题：基体预处理 电弧离子镀 TiAlCrSiN/TiAlN 涂层 表面粗糙度 界面 

摘      要：采用电弧离子镀工艺在不同预处理后的硬质合金表面制备TiAlCrSiN/TiAlN涂层,采用扫描电镜、X射线衍射仪、纳米压痕仪、压痕法等研究硬质合金表面形态和涂层结构、力学性能和结合强度。结果表明:抛光处理后的硬质合金表面十分平整,表面粗糙度低至7.7 nm。酸洗处理使硬质合金表层Co相溶解而暴露出更多的硬质相,表面粗糙度增大,TiAlCrSiN/TiAlN涂层在酸洗处理的硬质合金上生长速率增大,晶粒细小,硬度和弹性模量高,但硬模比较低。喷砂处理使Co相塑性变形而包络更多的硬质相,表面粗糙度大幅增加,TiAlCrSiN/TiAlN涂层在喷砂处理的硬质合金上生长速率稍降低,晶粒粗大,硬度和弹性模量小,但硬模比较高。酸洗+喷砂复合处理的硬质合金表面TiAlCrSiN/TiAlN涂层的硬度、弹性模量、硬模比介于两种单独处理方式的之间。