同步环带子孔径干涉非球面检测方法研究

作     者：苏媛 田爱玲 王红军 刘丙才 朱学亮 王思淇 任柯鑫 张郁文 

作者机构：西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2024年

核心收录：

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家基础科研项目计划(JCKY2020426B009) 陕西省科技厅项目(2023KXJ-066) 

主　　题：干涉测量 非球面检测 非零位测量 同步环形子孔径 

摘      要：提出一种同步环带子孔径干涉检测（SASI）方法用于检测非球面面形，该方法利用双焦点透镜形成两个测量波前以匹配非球面不同子孔径区域，进而实现非球面的同步环带子孔径干涉测量。研究了SASI检测非球面面形的方法，确定了双焦点透镜的焦点间距选取原则，建立了子孔径的基准统一模型，通过光学追迹软件辅助建模和坐标变换实现子孔径基准统一与非球面面形重构。结合实例对一口径90mm、顶点曲率半径317mm的抛物面进行了面形检测实验，将面形重构结果与Luphoshcan检测结果进行对比，验证了SASI方法的正确性。该方法不仅在一定程度上增大了干涉仪直接检测非球面的动态范围，且无需复杂运动机构，可同步得到被测非球面两子孔径区域的干涉图样，有效提高了检测速度、减小了运动误差对测量精度的影响。