原子层沉积实验平台设计与教学应用
Design and teaching application of experimental platform for atomic layer deposition作者机构：哈尔滨理工大学电气与电子工程学院黑龙江哈尔滨150080
出 版 物：《高师理科学刊》 (Journal of Science of Teachers＇College and University)
年 卷 期：2024年第44卷第2期
页 面：97-100,105页
学科分类：0401[教育学-教育学] 04[教育学] 07[理学] 070203[理学-原子与分子物理] 040102[教育学-课程与教学论] 0702[理学-物理学]
基 金：黑龙江省高等教育教学改革项目(SJGY20220309) 黑龙江省教育科学规划2023年重点课题研究成果(GJB1423436) 哈尔滨理工大学教研课题(220210003)
摘 要：培养学生的创新思维和动手能力是新能源材料与器件专业的主要任务之一.原子层沉积技术因沉积厚度精确可控、共形性强等独特优势被广泛应用于电极材料及器件的改性.设计了一套原子层沉积技术教学平台,涵盖了原子层沉积技术的原理、优势及其在储能材料与器件领域的应用等多个单元,加强学生对储能材料与器件的认识,全面提升学生的科研能力,培养新能源材料与器件专业型人才.
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