45°双驱动弹光调制高速椭偏测量方法

作     者：薛鹏 刘燕霖 谢大洋 张瑞 王志斌 XUE Peng;LIU Yanlin;XIE Dayang;ZHANG Rui;WANG Zhibin

作者机构：中北大学电气与控制工程学院太原030051 中北大学山西省光电信息与仪器工程技术研究中心太原030051 中北大学前沿交叉科学研究院太原030051 

出 版 物：《激光杂志》 (Laser Journal)

年 卷 期：2024年第45卷第1期

页      面：65-69页

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金(No.62105302) 山西省基础研究计划(No.20210302124269) 

主　　题：厚度测量 光弹性 高速椭偏测量技术 弹光调制器 在线检测 Comsol有限元仿真 

摘      要：为解决传统机械旋转补偿器型椭偏仪测量速度较慢问题,提出一种电驱动的双弹光调制的高速椭偏测量方法。通过理论分析并仿真研究45°双驱动弹光调制器工作在纯行波模式下的调制方式。结果发现,当双驱动弹光调制器工作在纯行波模式可实现快轴方向的高速周期性旋转,且相位延迟量为常量。结合椭偏原理,详细研究一种基于双驱动弹光调制的高速椭偏测量理论模型,结果表明,该模型光学周期10μs,用于实际可真正实现超高速偏光调制。通过研究,有望解决半导体集成电路,微电子和光伏电池等生产过程中薄膜超高速检测难题,对薄膜在线检测、瞬态变化测量具有重要意义和学术价值。