基于激光热成像的薄膜面向导热系数测试方法
Test Method of In-plane Thermal Conductivity of Thin Films Based on Laser Thermal Imaging作者机构：中国计量大学工业与商贸计量技术研究所浙江杭州310018
出 版 物：《计量学报》 (Acta Metrologica Sinica)
年 卷 期：2024年第45卷第1期
页 面：1-8页
学科分类：08[工学] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0804[工学-仪器科学与技术]
主 题：热物性测量 导热系数 薄膜 热流环路积分 激光热成像
摘 要：提出一种基于激光热成像的薄膜面向导热系数测试方法。仿真论证了激光加热相较于常规电加热方案的热损失差异;分析了激光加热功率、表面换热系数、测温模型增益系数等关键参数标定问题,并设计了相应的方案。基于15个不同材料或厚度的薄膜和薄片样品进行了实验,测试结果和参考值相对偏差均6%,其中导热系数3 W/(m·K)的样品测试误差显著优于常规方法,这表明该方法可有效改善热流环路积分法对低导热薄膜的测试精度。
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