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超光滑表面非接触定量测量研究

Non-contact Quantitative Measurement Method for Super-smooth Surface

作     者：杨险峰 伍小燕 YANG Xianfeng;WU Xiaoyan

作者机构：九江学院机械与材料学院江西九江332005 

出 版 物：《机床与液压》 (Machine Tool & Hydraulics)

年 卷 期：2012年第40卷第2期

页      面：85-87页

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

主　　题：定量测量 Wiener滤波 电信号处理 

摘      要：通过把光强信息转化为相位信息来分析表面高度与相位之间的关系,利用Wiener滤波消除噪声并恢复信号,从而建立了一种有效的非接触式定量测量模型。采用电信号处理系统提高了测量的效率和精度。

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