激光融合制造及在柔性微纳传感器的应用

作     者：蔡子墨 匡翠方 杨华勇 洪明辉 徐凯臣 

作者机构：极端光学技术与仪器全国重点实验室浙江大学光电科学与工程学院 流体动力基础件与机电系统全国重点实验室浙江大学机械工程学院 萨本栋微米纳米科学技术研究院厦门大学机电工程系 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2024年

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080202[工学-机械电子工程] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金(52105593) 浙江省自然科学基金(LDQ24E050001) 科技创新2030重大项目(2022ZD0208601) 浙江省尖兵计划项目(2023C01051) 

主　　题：激光融合制造 激光-物质相互作用 微纳制造 柔性电子 柔性微纳传感器 

摘      要：柔性微纳传感器的新兴发展对先进制造技术提出了更高要求。其中，激光融合制造充分集成激光增、等、减材加工形式，凭借高精度、非接触、机理丰富、灵活可控、高效环保、多材料兼容等特点突破传统制造在多任务、多线程、多功能复合加工中的局限，通过与物质相互作用实现跨尺度“控形与“控性，为各类柔性微纳传感器的结构-材料-功能一体化制造开辟了新路径。本文首先分析激光增材、等材与减材制造的技术特点与典型目标材料，展示激光融合制造的技术优势。接着针对近年来激光融合制造在柔性物理、化学、电生理与多模态微纳传感器中的典型应用展开讨论。最后，对技术挑战与未来发展趋势进行总结与展望，通过多学科交叉互融，开辟柔性微纳传感器制造新路径，拓展激光制造技术的应用场景。