基于非均匀快速傅里叶变换的抗振动白光干涉测量方法
作者机构：南京理工大学电子工程与光电技术学院
出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)
年 卷 期：2023年
核心收录：
学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 0702[理学-物理学]
基 金：国家自然科学基金(62171225,U2031131,61975079) 中国博士后基金,2023M731684,2023M731752
主 题：形貌测量 白光干涉 抗振动 非均匀快速傅里叶变换
摘 要：白光干涉测量技术是超精密加工领域中的一项重要测量手段，具有高精度和非接触式测量的优点，但同时也存在着易受环境振动干扰的问题。针对该问题，本文提出了一种基于非均匀快速傅里叶变换（NUFFT）的抗振动白光干涉测量方法。该方法将白光干涉测量光路分为两个成像通道，首先通过准单色光干涉图求解移相间隔，通过移相间隔以及NUFFT算法对白光干涉图进行校正，最后利用校正的白光干涉图和七步移相算法复原出待测物体的三维形貌，实验结果表明本方法具有良好的抗振性能。
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