反射式光电编码器

作     者：王显军 WANG Xian-jun

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2013年第21卷第12期

页      面：3066-3071页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 080902[工学-电路与系统] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：中国科学院知识创新工程领域前沿项目资助 

主　　题：高精度编码器 反射式编码器 光栅自成像 高密度基准光栅 

摘      要：研制了反射式光电编码器。介绍了光栅自成像原理,完善了高密度基准光栅的制作工艺,研制完成了32768刻线对光栅和高集成度光电读数头,最后制成了反射式高精度光电编码器。该编码器采用多参考点编码方式,加快和简化了确定基准零点的操作,初始化转动最大5.625°即可确定基准零点。采用自准直光管和23面棱体检测了编码器的测角精度,其单边读数头均方根误差为1.11″,对径双读数头均方根误差为0.75″;反射式读数使光栅与读数头间隙提高10倍达到2.0mm。结果表明,研制成功的高精度反射式光电编码器结构简单,反射式读数头光电信号质量较高。该编码器为高精度测角应用提供了一种新的解决方案。