半导体行业含氟污泥酸洗解聚及浮选工艺研究
Study on Acidic Dissociation and Flotation of Fluorine-Containing Sludge in Semiconductor Industry作者机构:武汉理工大学关键非金属矿产资源绿色利用教育部重点实验室湖北武汉430070 武汉理工大学资源与环境工程学院湖北武汉430070 上海市固体废物处置有限公司上海201815
出 版 物:《非金属矿》 (Non-Metallic Mines)
年 卷 期:2023年第46卷第6期
页 面:73-77页
学科分类:083002[工学-环境工程] 0830[工学-环境科学与工程(可授工学、理学、农学学位)] 081704[工学-应用化学] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 081701[工学-化学工程]
摘 要:半导体行业产生的含氟污泥日益增多,其成分复杂且粒度较小,传统方法难以实现资源化。以某半导体企业产生的含氟污泥为研究对象,系统研究了污泥的矿物组成、粒度及微观形貌等矿物学特征。结果表明,前端工艺添加的絮凝剂造成目的矿物氟化钙与杂质团聚成大颗粒,严重影响浮选提纯效果,以盐酸为解聚试剂对污泥进行处理,可有效实现含氟污泥的单体解离。进一步以油酸钠为捕收剂、酸化水玻璃为抑制剂,通过1段粗选、3段精选、3段扫选,最终获得Ca F_(2)品位为84.41%、回收率为75.72%的氟化钙精矿。本研究为半导体行业产生的含氟污泥的分离纯化及资源化利用提供了理论指导及科学依据。