浅谈大型电子厂房洁净室华夫板结构平整度控制技术
作者机构：中国化学工程第十四建设有限公司江苏南京210044
出 版 物：《石油化工建设》 (Petroleum and Chemical Construction)
年 卷 期：2023年第45卷第8期
页 面：102-104,115页
学科分类：08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 081402[工学-结构工程] 0814[工学-土木工程]
摘 要：基基于宝鼎(杭州)乾芯半导体集成电路厂房洁净室建造经验,详细阐述了大型电子厂房华夫板平整度控制的关键工艺,能够有效保证华夫板施工质量完全达到“内实外光的要求。
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