亚阈值电路单元延时波动统计建模方法

作     者：许婷 闫珍珍 刘海南 李博 乔树山 韩郑生 卜建辉 XU Ting;YAN Zhenzhen;LIU Hainan;LI Bo;QIAO Shushan;HAN Zhengsheng;BU Jianhui

作者机构：中国科学院微电子研究所北京100029 中国科学院抗辐照器件技术重点实验室北京100029 中国科学院大学北京100049 

出 版 物：《微电子学》 (Microelectronics)

年 卷 期：2023年第53卷第5期

页      面：834-840页

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程(可授管理学、工学学位)] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 081104[工学-模式识别与智能系统] 08[工学] 0835[工学-软件工程] 0811[工学-控制科学与工程] 0812[工学-计算机科学与技术（可授工学、理学学位）] 

主　　题：亚阈值 单元延时统计建模 波动性建模 分布拟合 主成分分析 人工神经网络 机器学习 

摘      要：集成电路产业的不断发展以及行业对高能效的不断追求使得工艺尺寸不断缩小,越来越多的电路工作在亚阈值区,工艺参数波动导致电路延时呈现非高斯分布。统计静态时序分析作为先进工艺下用于分析时序的新手段,采用将工艺参数和延时用随机变量表示的方法,可以加速时序收敛,显示预期成品率。文章主要研究了亚阈值电路单元延时波动的统计建模方法。分别对单时序弧和多时序弧的蒙特卡洛金标准数据进行建模研究。提出了单时序弧单元延时的分布拟合统计建模方法,其误差小于6.30%。提出了多时序弧单元延时人工神经网络统计建模方法,其误差小于4.95%。