含类金刚石薄膜的铝镁合金振膜的制备及其声学特性研究

作     者：孙庆磊 方非凡 王文清 郝亮 Sun Qinglei;Fang Feifan;Wang Wenqing;Hao Liang

作者机构：中国地质大学珠宝学院湖北武汉430074 中国地质大学湖北省珠宝工程技术研究中心湖北武汉430074 武汉理工大学硅酸盐建筑材料国家重点实验室湖北武汉430070 

出 版 物：《稀有金属材料与工程》 (Rare Metal Materials and Engineering)

年 卷 期：2023年第52卷第10期

页      面：3470-3478页

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：中国博士后科学基金(2022M722936) 中央高校青年优秀人才培育项目(20211234#) 湖北省教育厅科学研究计划指导性项目(B2022261) 硅酸盐建筑材料国家重点实验室开放基金(SYSJJ2022-14) 湖北省博士后创新研究岗位 湖北省珠宝工程技术研究中心开放基金(CIGTXM-03-202202)。 

主　　题：类金刚石膜 铝镁合金 弹性模量 频响特性 谐波失真 

摘      要：通过脉冲等离子体增强化学气相沉积技术在铝镁合金振膜上沉积类金刚石(diamond-like carbon,DLC)薄膜。利用SEM、AFM和RAMAN表征了不同沉积工艺下的DLC薄膜的形态和组成结构,测试了含DLC膜层的铝镁合金复合振膜的力学性能,相比铝镁合金基底振膜,DLC薄膜使得复合振膜在表面粗糙度、硬度和弹性模量方面有较多改善。含DLC薄膜的铝镁合金复合振膜的频率响应(SPL)曲线和谐波失真(THD)等声学性能表明,复合振膜提升了频响上限,赋予了扬声器高保真性。采用含DLC膜层的铝镁合金复合振膜制成的音响设备,具有良好的音色自然度、声场表现度、人声表现度和清晰度,能够有效提高人类主观听音效果。