基于虚拟光阑调制的刀口法自动定量检测技术

作     者：华翔 焦兆阳 朱健强 Hua Xiang;Jiao Zhaoyang;Zhu Jianqiang

作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理重点实验室上海201800 中国科学院中国工程物理研究院高功率激光物理联合实验室上海201800 中国科学院大学北京100049 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2023年第43卷第21期

页      面：150-163页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金(62105343) 上海市自然科学基金(19ZR1464400) 中国科学院战略性先导科技专项(XDA25020202) 

主　　题：光学检测 刀口仪 自动化 光学仪器 

摘      要：依靠算法提高光学测量精度的方法和应用越来越广泛,由于刀口法在光学非球面检测中的应用有其独特性,本文提出了在非焦点处采样,对应CCD像面上辅以虚拟光阑调制的刀口法环带,实现定量检测。以检测一个凹球面为例,将其与干涉仪标准方法的检测结果进行对比,其中主要环带位置偏差不超过1%,峰谷(PV)值和均方根(RMS)值误差均在7%左右,可以实现至少λ/15左右的检测灵敏度。该研究为光学车间检测提供了一种定量化检测的新思路,优化了光学加工与检测的效率,为自动化刀口仪的研制奠定了基础。