脉冲宽度对激光驱动微滴前向转移的影响

作     者：程帅康 吴迪 罗国虎 胡永祥 Cheng Shuaikang;Wu Di;Luo Guohu;Hu Yongxiang

作者机构：上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室上海200240 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2023年第60卷第19期

页      面：133-139页

核心收录：

学科分类：08[工学] 082503[工学-航空宇航制造工程] 0825[工学-航空宇航科学与技术] 

基　　金：国家自然科学基金优秀青年基金项目“激光冲击特种制造”(51922069) 

主　　题：激光器与激光光学 微滴增材制造 脉冲宽度 激光诱导 金属微滴 

摘      要：激光驱动微滴前向转移工艺在三维金属微结构打印方面具有重要的应用前景。脉冲宽度是影响微滴转移行为的一个重要因素,但是目前的研究对于不同脉宽下微滴产生以及沉积行为认识不够充分。本文以500 nm铜膜为对象,开展了5种不同脉宽下激光驱动微滴前向转移实验。研究结果表明,随着脉冲宽度的增大,获得完整微滴的激光驱动微滴前向转移工艺最低以及最高能流密度阈值逐渐增高,同时脉宽对沉积微滴形貌有显著影响。根据实验确定了不同脉宽下的激光驱动微滴前向转移工艺区间,并统计了不同脉宽下微滴沉积的材料转移比率。最后利用振镜线扫描方式实现大面积微滴阵列的制备。