离子液体电沉积

作     者：钟声 宋婷 张钰瑞 李垚 赵炜珍 刘瑞霞 张锁江 Sheng Zhong;Ting Song;Yurui Zhang;Yao Li;Weizhen Zhao;Ruixia Liu;Suojiang Zhang

作者机构：中国科学院过程工程研究所绿色过程与工程重点实验室离子液体清洁过程北京市重点实验室多相复杂系统国家重点实验室北京100190 中国科学院大学北京100049 

出 版 物：《中国科学:化学》 (SCIENTIA SINICA Chimica)

年 卷 期：2023年第53卷第10期

页      面：2008-2026页

核心收录：

学科分类：04[教育学] 

基　　金：国家自然科学基金重大项目(编号:21890762) 国家自然科学基金优秀青年科学基金(编号:22222813)资助项目。 

主　　题：离子液体 低共熔溶剂 电沉积 金属 半导体 

摘      要：离子液体具有电化学窗口宽,热稳定性良好和结构性能可调等独特的物理化学性质,是一种有着广阔应用前景的电沉积介质.本文介绍了离子液体电沉积的发展历程、典型的离子液体电沉积体系结构组成及其中的重要科学问题,并综述了近15年来离子液体电沉积的研究进展.本文详细介绍了五种不同类型离子液体中金属/合金的电沉积过程,包括卤素金属酸盐型离子液体、空气和水稳定型离子液体、低共熔溶剂、含金属阳离子型离子液体和质子型离子液体,并且系统概述了调节因素如沉积条件(电流密度、沉积模式、沉积时间、温度)和电解质成分(阴离子、阳离子、金属盐、添加剂、水分)对于沉积物形貌、组成、微观结构和性质的影响规律.之后,重点介绍了离子液体在半导体电沉积中的研究进展.最后,指出了目前离子液体电沉积在基础理论和技术研究中面临的挑战,并展望了其未来在电子信息领域的发展前景.