同步带传动晶圆传输机械手精度分析与补偿
Precision Analysis and Compensation of the Wafer Handling Robot Hand with Timing-belt Transmission作者机构：哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室黑龙江哈尔滨150080
出 版 物：《机械传动》 (Journal of Mechanical Transmission)
年 卷 期：2010年第34卷第4期
页 面：33-37页
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程]
基 金：国家973项目超大规模集成电路制造装备基础问题研究(2009CB724206)
主 题：同步带传动 晶圆传输机器人 显著性分析 运动学标定 误差补偿
摘 要：分析了同步带应用于晶圆传输机器人机械手的误差产生原因,针对晶圆传输机器人高速高精度的定位要求,建立了含有同步带环节的误差模型。对各误差源进行了显著性分析,并在此基础上提出了结合几何误差迭代法和基于运动学逆解的非线性参数辨识的分步标定方法,对模型进行了误差标定及误差补偿。最后经过仿真分析和实验,有效的证明此方法显著地提高了机械手的末端定位精度。
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