电感型光学超导转变边沿探测器件光学谐振腔设计

作     者：王振宇 钟青 曾九孙 李劲劲 徐骁龙 王雪深 WANG Zhen-yu;ZHONG Qing;ZENG Jiu-sun;LI Jin-jin;XU Xiao-long;WANG Xue-shen

作者机构：中国计量大学计量测试工程学院浙江杭州310018 中国计量科学研究院北京102200 

出 版 物：《计量学报》 (Acta Metrologica Sinica)

年 卷 期：2023年第44卷第8期

页      面：1159-1162页

学科分类：08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 

基　　金：国家自然科学基金(61901432)。 

主　　题：计量学 超导转变边沿 超导Nb膜 反射率 光学谐振腔 化学气相沉积 磁控溅射 

摘      要：为提高电感型光学超导转变边沿探测器件的探测效率,针对波长633 nm的光子,厚度15 nm的铌(Nb)膜光子吸收层,设计了一种基于Al全反射层、SiO2和SiNx减反层的谐振腔结构。通过仿真,选取低反射率参数分布区间,利用终点探测曲线作为谐振腔性能的判断依据,通过磁控溅射工艺和化学气相沉积工艺制备了谐振腔,并使用分光光度计测试了反射率,结果表明:制备的谐振腔可将633 nm光波反射率降低至0.9%,并对506~690 nm宽波段光也有良好的减反效果(反射率1%)。