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高低温环境对三轴高g值加速度传感器灵敏度变化影响研究

Research on the influence of high and low temperature environment on the sensitivity change of three-axis high-g accelerometer

作     者:乔诗翔 李豪杰 于航 陈志鹏 Qiao Shixiang;Li Haojie;Yu Hang;Chen Zhipeng

作者机构:南京理工大学智能弹药技术国防重点学科实验室南京210094 

出 版 物:《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期:2023年第44卷第5期

页      面:240-248页

核心收录:

学科分类:08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 

主  题:高g值加速度传感器 压阻式 高低温 灵敏度 

摘      要:针对高低温环境对高g值加速度传感器灵敏度影响机理不清的问题,通过建立两端固支的敏感单元数学模型,得到了传感器灵敏度与敏感单元纵向应力、横向应力的关系。通过热-力耦合仿真分析得到了传感器灵敏度与温度间的关系,在-40℃~50℃范围内,传感器灵敏度随温度的增加而减小,且在-40℃~20℃范围内灵敏度变化较快,在20℃~50℃范围内灵敏度变化较慢。通过传感器高低温试验得到高低温环境下传感器灵敏度数据,-40℃条件下灵敏度大小为0.523μV/g;50℃条件下灵敏度大小为0.516μV/g。与仿真结果进行对比,验证了温度变化对传感器灵敏度的影响规律,为提升高g值加速度传感器在高低温环境下测量精度具有理论参考意义。

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