锥面镜磁流变抛光去除函数畸变规律分析与演绎

作     者：杨军 樊炜 海阔 张云飞 黄文 YANG Jun;FAN Wei;HAI Kuo;ZHANG Yunfei;HUANG Wen

作者机构：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所四川绵阳621900 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2023年第31卷第16期

页      面：2383-2394页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.61605182,No.12162008,No.52005463) 中国工程物理研究院创新发展基金创新项目资助(No.K1267-2022-TCF) 装发部项目资助(No.211ZW22001) 国家重点研发计划资助项目(No.2017YPA0701200) 

主　　题：锥面镜 磁流变抛光 去除函数演绎方法 特征参数 平均曲率 

摘      要：磁流变抛光是实现锥镜低表面损伤、面形误差高效抑制的重要工艺,然而锥面磁流变抛光去除函数畸变严重、畸变规律复杂,而现有方法难以直接有效建立其去除函数模型,导致面形收敛效率低下。本文分析了锥面曲率效应对磁流变抛光去除函数畸变的影响机制,研究去除函数的基准化特征参数关于平均曲率的解析规律,建立了由平面到锥面的磁流变抛光去除函数演绎方法。该方法将锥面去除函数的长宽、体去除率、峰去除率演变规律综合纳入到演绎之中,更全面地反映了锥面曲率效应下的磁流变抛光去除函数的畸变特性,同时避免了理化特性参数测量以及复杂方程和非线性问题的求解,为实际工况下锥面去除函数演绎提供一种有效、低成本方法。重复性采斑实验结果显示锥面去除函数特征参数的演绎误差为3.20%~12.02%,证明了该演绎方法具有较强的适用性。