按比例缩小技术在微纳米中的挑战和对策
Challenges and Solutions of Scaling Down Technology in Micron and Nanometer作者机构：西安电子科技大学微电子研究所西安710071
出 版 物：《固体电子学研究与进展》 (Research & Progress of SSE)
年 卷 期：2003年第23卷第4期
页 面：464-469页
核心收录：
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
主 题：集成电路 比例缩小 光刻技术 互连延迟 亚阈特性 功耗 平台集成
摘 要：按比例缩小技术是驱动集成电路发展的一项关键技术 ,在进入微纳米后出现了一系列的挑战。文中分析了按比例缩小在光刻技术、器件的亚阈特性、互连延迟以及功耗等方面面临的一些问题 ,同时从工艺、器件、电路。
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