一种MEMS热驱动可变电容的分析模拟
Analyse and Simulation of a Thermal Variable MEMS Capacitor作者机构：无锡纳能科技有限公司江苏无锡214000 苏州科技学院数理学院江苏苏州215000 中国电子科技集团公司第58研究所江苏无锡214035
出 版 物：《电子与封装》 (Electronics & Packaging)
年 卷 期：2013年第13卷第10期
页 面：40-43页
学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
摘 要：文中设计并分析了一个MEMS热驱动可变电容,它的下极板固定于衬底,上极板通过热致动器驱动。热致动器由冷臂和热臂组成,一端通过锚点固定于衬底,一端连接在电容器上极板。热驱动器通过电压驱动使MEMS电容器上极板上下运动。文中作者使用有限元方法模拟了150～300μm加热臂长在0～4 V电压条件下的电容变化值和温度变化,有限元模拟结果表明其电容变化率最大可达10倍。
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