硫化锌表面微结构抗反射特性的理论模拟及制备

作     者：罗兴 李明 毛建勇 LUO Xing;LI Ming;MAO Jianyong

作者机构：中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室西安710119 中国科学院大学北京100049 西安交通大学电子科学与工程学院西安710049 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2023年第52卷第7期

页      面：67-75页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金(No.62275266) 国防科技基础加强计划技术领域基金项目(No.2020-JCJQ-JJ-514) 陕西省重点产业创新链(群)(No.2020ZDLGY01-06) 

主　　题：飞秒激光 时域有限差分法 增透性 抗反射微结构 硫化锌 

摘      要：针对硫化锌表面微纳米结构在中远红外波段7~10μm的增透性能开展理论及实验研究。基于时域有限差分软件建立物理模型,理论研究微结构参数变化对减反性能产生的影响,依据红外光谱值分布图宏观展示微结构参数与透过率的关系。利用飞秒激光在空气环境中制备不同规格的微纳米结构阵列,通过实验实现了设计的结构。分别测试样品在中远红外波段7~10μm范围内透过率,其中8μm的网格结构在8.5~10μm波段的平均透过率可提高4%,在10μm波长处透过率提升7%。实验结果表明所制备的结构具有良好的抗反射性能。对比结果显示实验所示透过率变化趋势与仿真结果具有一致性。