衍射光学束匀滑器件性能的空间频谱分析

作     者：谭峭峰 严瑛白 金国藩 邬敏贤 徐端颐 TAN Qiao feng, YAN Ying bai, JIN Guo fan, WU Min xian, XU Duan yi (State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments, Tsinghua University, Beijing 100084)

作者机构：清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2002年第29卷第8期

页      面：699-702页

核心收录：

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家高技术项目 (86 3 80 4 9 2 ) 国家重点基础研究项目 (973 G19990 330 ) 国防科技重点实验室基金试点项目(JS77 9) 中国博士后科学基金资助项目 

主　　题：空间频谱 衍射光学器件 束匀滑 精细化设计 

摘      要：采用空间频谱方法分析了衍射光学束匀滑器件的焦面光强分布 ,重新定义了光能利用率及顶部不均匀性两个参数 ,由于其定义的溯源性 ,能够真实准确地评价束匀滑器件的设计性能。最后 ,采用这两个参数对精细化设计前后的衍射光学束匀滑器件性能进行了对比 。