机床滚转角测量中敏感元件倾斜引起的误差分析

作     者：钟丽红 王昭 汤善治 高建民 郭俊杰 ZHONG Lihong;WANG Zhao;TANG Shanzhi;GAO Jianmin;GUO Junjie

作者机构：西安交通大学机械工程学院西安710049 西安交通大学机械系统工程国家重点实验室西安710049 陕西智能恒通机械有限公司西安710049 

出 版 物：《西安交通大学学报》 (Journal of Xi'an Jiaotong University)

年 卷 期：2013年第47卷第5期

页      面：99-103页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家科技重大专项资助项目(2012ZX04003071) 

主　　题：滚转角 1 2波片 运动误差 测量误差 

摘      要：为研究正交偏振光相位法测量机床滚转角过程中,机床的俯仰、偏摆运动误差对测量精度的影响,建立了测量光路数学模型,利用琼斯矩阵法计算光路中光的偏振态变换过程,并推导出被测滚转角与相位变化量间的测量公式。在此基础上,采用光的偏振和晶体光学理论,分析了测量过程中机床俯仰、偏摆运动误差造成的敏感元件(即1/2波片)倾斜所引起的测量误差。分析结果表明,1/2波片在倾斜角度小于2°的情况下所引起的测量误差小于0.1%,对测量精度影响较小,从而论证了正交偏振光相位法高精度测量机床滚转角的可行性。