大角度双波段探测成像分光器件的研制

作     者：付秀华 刘瑞奇 朱忠尧 韩克旭 王奔 刘俊岐 刘海成 Fu Xiuhua;Liu Ruiqi;Zhu Zhongyao;Han Kexu;Wang Ben;Liu Junqi;Liu Haicheng

作者机构：长春理工大学光电工程学院吉林长春130022 长春理工大学中山研究院广东中山528436 北京空间机电研究所北京100094 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2023年第50卷第14期

页      面：63-70页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：2022年度中山市第二批社会公益与基础研究项目(2022B2005) “十三五”共用技术预研基金(41423060202) 长春市激光制造与检测装备科技创新中心资助项目(长科技合(2014219)号) 

主　　题：光学器件 分光镜 微光夜视 中波红外成像 面形精度 

摘      要：在微光夜视与红外成像融合的光学系统中,光通过55°放置的分光镜分成两束光,其中反射光被微光探测器接收进行微光夜视成像,透射光被红外探测器接收进行红外成像,通过图像融合技术来提高系统的成像分辨率。针对分光镜的参数要求,笔者选用Ge、ZnS和YbF3作为沉积材料,采用离子源辅助沉积技术在多光谱ZnS基底上制备了0.6~0.9μm波段高反、3.7~4.8μm波段高透的分光膜。通过对膜系结构的优化以及沉积工艺参数的调整,解决了膜层牢固度和面形精度等问题,实现了0.6~0.9μm波段反射率为90.77%、3.7~4.8μm波段透射率为91.15%的分光指标。附着力测试、摩擦力测试、高低温测试、恒温恒湿测试结果显示所制备的双面膜可以满足使用要求,但该膜的短波反射率和长波透过率仍有一定的提升空间。