蓝宝石晶体湿法刻蚀各向异性研究与机理分析

作     者：张辉 钱珺 洪莉莉 ZHANG Hui;QIAN Jun;HONG Lili

作者机构：南京工业职业技术大学机械工程学院南京210000 东南大学机械工程学院南京210000 

出 版 物：《人工晶体学报》 (Journal of Synthetic Crystals)

年 卷 期：2023年第52卷第6期

页      面：1128-1135页

学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 0702[理学-物理学] 

基　　金：江苏省工业感知及智能制造装备工程研究中心开放基金(ZK22-05-07) 南京工业职业技术大学引进人才科研启动基金(YK20-01-08)。 

主　　题：蓝宝石 湿法刻蚀 各向异性 刻蚀条件 刻蚀机理 表面形貌 

摘      要：当前蓝宝石各向异性刻蚀规律还没有获得完整揭示,其刻蚀微结构演化过程和形貌结构很难实现准确预测和控制,给蓝宝石衬底图案化结构加工成型和质量控制带来很大的挑战。本研究基于蓝宝石全晶面刻蚀速率实验数据,详细分析了其微结构刻蚀成型过程和刻蚀机理,并对比分析了刻蚀条件对蓝宝石刻蚀微结构和表面形貌的影响规律,实验结果表明:适当提高刻蚀温度可以提高刻蚀效率,但会引起表面质量的下降;以磷酸为代表的弱电解质类作为刻蚀缓冲剂能够有效提高刻蚀结构面质量;(275±10)℃,98%H_(2)SO_(4)∶85%H_(3)PO_(4)(体积配比)=3∶1刻蚀溶液可以获得最优的刻蚀速率和表面质量。