掺Pd二氧化锡薄膜结构表征
The Structural Characterization of Pd-doped SnO_2 Thin Films作者机构：清华大学化学系北京100084
出 版 物：《真空科学与技术》 (Vacuum Science and Technology)
年 卷 期：1997年第17卷第2期
页 面：73-78页
学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
摘 要：利用X射线光电子谱（XPS）、扫描俄歇微探针（SAM）、X射线衍射（XRD）和差热-热重（DTA－TG）等多种分析技术，对由溶胶凝胶（Sol-Gel）法制备的Pd－SnO2薄膜试样的结构作了综合表征，系统地研究了热处理过程中试样结构及试样中Pd和Sn元素化学状态的变化规律。
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