高速异型掺杂的硅基槽波导调制器
High-Speed Hetero-Doped Silicon-Based Slot Waveguide Modulator作者机构：山东大学信息科学与工程学院山东青岛266237
出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)
年 卷 期：2023年第43卷第7期
页 面：210-217页
核心收录：
学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学]
基 金：国家重点研发计划重点专项(2021YFB2800301)
摘 要：针对硅基单端推挽调制器的pn结结电容大、调制效率低的问题,设计出一种基于异型掺杂和槽波导结构的硅基调制器。通过槽波导结构和L型掺杂增大了耗尽区与光场相互作用,与传统脊波导相比,在相同调制效率下,槽波导的结电容降低了24%,带宽提高了32%。采用T型轨道的电极实现阻抗和折射率的匹配,4 V偏压下调制带宽达到42 GHz,实现了峰峰值电压V_(pp)=2 V驱动下70 Gbit/s的OOK信号调制,眼图消光比达5.2 dB。
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