应用在拼接镜面中的电容位移传感器的结构性误差分析及校正

作     者：杨德华 戚永军 YANG De-hua;QI Yong-jun

作者机构：中国科学院国家天文台/南京天文光学技术研究所江苏南京210042 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2006年第14卷第2期

页      面：173-178页

核心收录：

学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 

基　　金：国家九五重大科学工程LAMOST项目支持 

主　　题：拼接镜面 电容位移传感器 误差分析 误差校正 数字拟合 

摘      要：分析了子镜运动和电容传感器极板运动之间的理论关系并探讨了电容位移传感器读数的“结构性误差的处理方法。基于电容位移传感器的工作原理,对极板为圆形的电容位移传感器提出了采用以位移的测量值和子镜转角为自变量的多项式拟合的校正方法。计算表明该误差处理和校正方法是简洁可行的。对于转角的拟合只需2阶,同时位移测量值只需4阶的多项式进行拟合即可使输出位移达到3 nm的精度。进一步分析表明,直接使用位移传感器读数计算极板转角,并对误差的主动校正控制非常有利于该多项式拟合,可一次性达到优于5 nm的校正误差,完全满足拼接镜面主动光学工程应用的技术要求。