一种投影物镜测试台的设计
Design of a Projection Objective Test Bench作者机构：上海微电子装备(集团)股份有限公司上海201203
出 版 物：《集成电路应用》 (Application of IC)
年 卷 期：2023年第40卷第4期
页 面：300-302页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
摘 要：阐述投影物镜测试台用于对投影物镜性能和接口进行测试验证,投影物镜测试台作为一种测量工具,其自身精度,操作便利性,维护性与最终物镜的交付质量也有着密切关系。探讨对测试台部分结构、投影物镜集成流程的优化设计,从而提高了测试台的使用效率。
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