自支撑单晶氧化物薄膜的应用研究进展

作     者：彭若波 董国华 刘明 Peng Ruo-Bo;Dong Guo-Hua;Liu Ming

作者机构：西安交通大学电子与信息学部电子科学与工程学院电子陶瓷与器件教育部重点实验室西安710049 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2023年第72卷第9期

页      面：110-134页

核心收录：

学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家重点研发计划(批准号:2022YFB3205701) 国家自然科学基金(批准号:U22A2019,91964109,52002310) 陕西省创新团队支持项目(批准号:2021TD-12)资助的课题 

主　　题：功能氧化物 单晶薄膜 自支撑 柔性电子器件 

摘      要：随着柔性电子的迅猛发展,越来越多的新型智能可穿戴电子设备,逐渐改变人们的生活方式.同时,可穿戴器件小型化、柔性化、集成化、低功耗等需求不断提高,对柔性功能材料的要求越来越高,特别是亟需具有丰富功能特性的氧化物薄膜材料.近年来,随着薄膜生长与剥离技术的进步,自支撑单晶氧化物薄膜被开发出来.由于其脱离衬底束缚展现出优异柔性特征的同时,保持了丰富的磁、电、光、热、力等功能,在信息存储、智能传感、生物医疗、能源等领域具有广泛的应用前景.本文从自支撑氧化物薄膜的制备技术出发,展开介绍了基于铁电、压电、铁磁、金属-绝缘体转变等物理效应的晶体管存储器、能量收集、纳米发电机、应变传感器、储能器件及超导等方面的应用.