铂电阻薄膜温度传感器设计与动态特性研究

作     者：吕晓霖 侯文 王俊强 刘佳政 张海坤 李孟委 LYU Xiaolin;HOU Wen;WANG Junqiang;LIU Jiazheng;ZHANG Haikun;LI Mengwei

作者机构：中北大学信息与通信工程学院太原030051 中北大学前沿交叉科学研究院太原030051 中北大学仪器与电子学院太原030051 

出 版 物：《舰船电子工程》 (Ship Electronic Engineering)

年 卷 期：2023年第43卷第1期

页      面：204-208页

学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 

基　　金：国防173计划技术领域基金项目(编号:2021JCJQJJ0172)资助 

主　　题：铂电阻 温度传感器 响应时间 薄膜 激光加热法 

摘      要：传统铂电阻温度传感器的特性稳定,具有广泛的温度测量范围,但在瞬时变化时响应速度较慢。为此论文设计了一种薄膜型铂电阻温度传感器,该传感器由内部芯片与外部陶瓷管壳组成,利用传感器电阻值随环境温度变化而变化的原理进行测温,通过COMSOL有限元仿真验证传感器内部芯片的技术原理与参数设计的可行性,并通过工艺加工出传感器样品,该样品在经过激光加热法测试后,得到该铂电阻薄膜温度传感器响应时间为6.3ms。