陶瓷厚膜力敏传感器
The Ceramic Thick Film Force Sensitive Transducer and Its Application Prospects作者机构：中科院合肥智能机械研究所合肥230031
出 版 物：《自动化仪表》 (Process Automation Instrumentation)
年 卷 期：1997年第18卷第12期
页 面：12-15页
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
摘 要：介绍采用厚膜工艺技术制作陶瓷力敏传感器,详细叙述圆膜片式压力传感器和陶瓷双孔梁式力传感器的工作原理、主要性能、结构设计、制作工艺,展望其应用前景.
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