顶面驱动可变电容静电微电机的优化设计
Optimization Design of Top-drive Variable Capacitance Electrostatic Micromotor作者机构:北京邮电大学世纪学院北京102613 中国航天空气动力技术研究院北京100074 北方工业大学机电工程学院北京100144
出 版 物:《微电机》 (Micromotors)
年 卷 期:2014年第47卷第5期
页 面:21-26页
学科分类:080801[工学-电机与电器] 0808[工学-电气工程] 08[工学] 081101[工学-控制理论与控制工程] 0811[工学-控制科学与工程] 081102[工学-检测技术与自动化装置]
摘 要:针对顶面驱动可变电容式静电微电机的参数优化设计问题,建立了一般解析物理描述模型,并给出了优化问题的数学模型。在考虑电机结构尺寸和电机控制方法优化的同时,结合数值积分方法和遗传算法,提出一种简单高效的优化设计方法,并通过有限元分析对提出的方法进行了有效性验证,实现了静电微电机的快速优化设计。