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顶面驱动可变电容静电微电机的优化设计

Optimization Design of Top-drive Variable Capacitance Electrostatic Micromotor

作     者:宫香山 刘晓伟 何广平 GONG Xiangshan;LIU Xiao-wei;HE Guang-ping

作者机构:北京邮电大学世纪学院北京102613 中国航天空气动力技术研究院北京100074 北方工业大学机电工程学院北京100144 

出 版 物:《微电机》 (Micromotors)

年 卷 期:2014年第47卷第5期

页      面:21-26页

学科分类:080801[工学-电机与电器] 0808[工学-电气工程] 08[工学] 081101[工学-控制理论与控制工程] 0811[工学-控制科学与工程] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 

基  金:国家自然科学基金资助项目(50975004) 

主  题:可变电容 静电微电机 优化设计 有限元分析 

摘      要:针对顶面驱动可变电容式静电微电机的参数优化设计问题,建立了一般解析物理描述模型,并给出了优化问题的数学模型。在考虑电机结构尺寸和电机控制方法优化的同时,结合数值积分方法和遗传算法,提出一种简单高效的优化设计方法,并通过有限元分析对提出的方法进行了有效性验证,实现了静电微电机的快速优化设计。

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