微型星用可变辐射器

作     者：曹生珠 陈学康 王熙元 韩闯 杨建平 

作者机构：兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验室兰州730000 兰州大学物理科学与技术学院兰州730000 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2013年第33卷第8期

页      面：751-754页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0825[工学-航空宇航科学与技术] 

主　　题：热控制 可变辐射器 微加工 微 纳卫星 

摘      要：微型星用热开关辐射器因其辐射能力可根据需要主动调节,整体采用薄膜和微结构制造,具有轻小、低功耗等的特点,非常适合于微/纳卫星热控应用。国外同类器件主要采用硅工艺制作,由于材料和工艺限制,器件热性能较差。本文提出了一种基于激光微加工技术,采用聚酰亚胺作为结构材料的微型星用热开关辐射器,介绍了器件的工作原理,对器件结构和热性能进行了理论分析,确定了影响器件性能的主要因素。然后采用紫外激光微加工、浸渍提拉法和磁控溅射薄膜沉积等技术制作了微型热开关辐射器样件,并进行了驱动电压和性能测试。测试结果表明,样件驱动电压为97 V,辐射功率调节量约为0.1W。最后对测试结果进行了分析和讨论,提出了改进方案。