基于HTCC的LVDT位移传感器敏感芯体设计
Sensitive core design of LVDT displacement sensor based on HTCC作者机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所黑龙江哈尔滨150028
出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)
年 卷 期：2023年第42卷第3期
页 面：117-119,123页
学科分类：08[工学] 080202[工学-机械电子工程] 0802[工学-机械工程]
主 题：高温共烧陶瓷 线性可变差动变压器 位移传感器 敏感芯体
摘 要：针对传统漆包线工艺制备的线性可变差动变压器(LVDT)位移传感器无法在高温环境下工作的问题,提出一种基于高温共烧陶瓷(HTCC)技术制备耐高温LVDT位移传感器敏感芯体的方法。按0~20 mm的量程范围要求,对敏感芯体进行合理优化后,所制备的敏感芯体测量精度可在±1%FS之内与仿真结果相符合。该制备方法在提升耐高温性能的同时可保证测量精度,具有一定的实际应用前景。
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