芯片表面形貌检测方法及系统研制

作     者：夏承晟 邓惠文 赵书浩 陶伟灏 张国锋 杨树明 XIA Chengsheng;DENG Huiwen;ZHAO Shuhao;TAO Weihao;ZHANG Guofeng;YANG Shuming

作者机构：西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室陕西西安710049 

出 版 物：《计测技术》 (Metrology & Measurement Technology)

年 卷 期：2023年第43卷第1期

页      面：137-142页

学科分类：08[工学] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0804[工学-仪器科学与技术] 

基　　金：国家自然科学基金(52225507) 

主　　题：芯片 表面形貌测量 白光干涉 原子力显微镜 

摘      要：传统检测方法由于测量范围小、测量时间长,不能满足在线、在机和大幅面的检测需求,本文提出了一种白光扫描干涉和原子力显微测量相结合的芯片表面形貌测量方法。在分析了白光扫描干涉测量技术和原子力显微测量技术特点的基础上,构建了两种方法互补的测量方案:首先采用白光扫描干涉测量技术对芯片进行大范围快速扫描,再通过原子力显微测量技术对关键区域进行精细扫描检测。基于此进行了测量系统的硬件设计与集成,测试结果表明,该系统能够在毫米级检测范围内实现纳米级表面形貌的精确测量。