激光烧蚀数值计算的研究现状
Research Status of Numerical Calculation of Laser Ablation作者机构：南华大学超常环境下装备安全服役技术湖南省重点实验室衡阳421001
出 版 物：《现代制造技术与装备》 (Modern Manufacturing Technology and Equipment)
年 卷 期：2023年第59卷第2期
页 面：59-61页
学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
摘 要：激光烧蚀技术在清洗、刻蚀等领域中应用广泛,具有高精度、高效率等优点。激光工艺参数对烧蚀过程影响较大,利用有限元数值计算可以节省时间、降低成本及优化参数。文章综述数值模拟激光烧蚀的研究现状,阐述常用的热源模型,展望了激光烧蚀数值计算的发展方向。
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