铌酸锂薄膜高速电光开关的设计与制备

作     者：唐杰 王子彦 钱坤 何晓舟 潘时龙 王琛全 顾晓文 钱广 孔月婵 陈堂胜 TANG Jie;WANG Ziyan;QIAN Kun;HE Xiaozhou;PAN Shilong;WANG Chenquan;GU Xiaowen;QIAN Guang;KONG Yuechan;CHEN Tangsheng

作者机构：微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室南京210016 南京电子器件研究所南京210016 南京航空航天大学电子信息工程学院南京211106 空军装备部上海局上海200231 

出 版 物：《光电子技术》 (Optoelectronic Technology)

年 卷 期：2023年第43卷第1期

页      面：7-10,16页

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家重点研发计划资助项目(2022YFB2802702) 江苏省产业前瞻技术研发项目(BE2021030) 重点实验室基金项目(614280304012106) 

主　　题：铌酸锂薄膜 电光开关 光学波束形成 

摘      要：基于硅基铌酸锂薄膜(Lithium Niobate on insulator,LNOI)材料平台,设计并制备了高速电光开关芯片,并实现了芯片的光纤耦合、管壳封装和性能测试。测试结果表明,该高速电光开关器件的开关速度达到13.4 ns,消光比达到31.8 dB。研究工作对未来研制光学延时芯片和波束形成网络芯片具有重要的支撑意义。