精馏技术在电子化学品制备中的应用进展
Application progress of distillation technology in preparation of electronic grade chemicals作者机构：中国科学院过程工程研究所绿色过程与工程重点实验室北京100190 济南大学化学化工学院山东济南250022 中国科学院绿色过程制造创新研究院北京100190
出 版 物：《现代化工》 (Modern Chemical Industry)
年 卷 期：2022年第42卷第12期
页 面：13-18页
学科分类：08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 081701[工学-化学工程]
基 金：国家重点研发技术(2019YFC1907601) 中国科学院绿色过程制造创新研究院联合基金(IAGM2020C08) 宁夏回族自治区重点研发技术项目(2020BDE02025)。
摘 要：综述了连续精馏、间歇精馏、亚沸精馏、加减压精馏、共沸精馏、萃取精馏、反应精馏、低温精馏等多种精馏技术在电子化学品制备中的应用现状,并对精馏技术在电子化学品制备过程的应用前景做出了展望。
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