CVD单晶金刚石X射线位置探测器研制

作     者：刘晓晨 李贞杰 王炳杰 常广才 刘鹏 刘瑶光 姜龙 安晓明 李义锋 葛新岗 LIU Xiao-chen;LI Zhen-jie;WANG Bing-jie;CHANG Guang-cai;LIU Peng;LIU Yao-guang;JIANG Long;AN Xiao-ming;LI Yi-feng;GE Xin-gang

作者机构：河北普莱斯曼金刚石科技有限公司河北石家庄050081 河北省激光研究所河北石家庄050081 中国科学院高能物理研究所北京100049 

出 版 物：《核电子学与探测技术》 (Nuclear Electronics & Detection Technology)

年 卷 期：2022年第42卷第2期

页      面：355-359页

学科分类：082704[工学-辐射防护及环境保护] 08[工学] 0827[工学-核科学与技术] 

基　　金：河北省自然基金(E2019302005) 河北省科学院科技计划(201511) 中国科学院科研仪器设备研制(YJKYYQ20170053)资助 

主　　题：CVD单晶金刚石 同步辐射 XBPM探测器 

摘      要：为满足高亮度同步辐射X射线的监测需求,采用微波等离子体化学气相沉积技术制备出CVD单晶金刚石材料,制作了一种四象限型X射线位置探测器(XBPM).实验测试结果表明:探测器暗电流小于0.2 pA;光强强度的测量精度为0.3%,位置分辨能力可以达到400 nm.该探测器能满足同步辐射X射线光束诊断的测量要求.