新型结构压电石英晶片去耦效应的研究

作     者：杨梅 李辉 龙利 邓慧 郭宇恒 李强林 YANG Mei;LI Hui;LONG Li;DENG Hui;GUO Yuheng;LI Qianglin

作者机构：成都工业学院电子工程学院四川成都611730 成都泰美克晶体技术有限公司四川成都611731 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2023年第42卷第1期

页      面：23-25,29页

学科分类：07[理学] 08[工学] 080202[工学-机械电子工程] 070205[理学-凝聚态物理] 0802[工学-机械工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：四川省科技厅重点研发资助项目(2022YFS0504)。 

主　　题：双台面形状 沟槽结构 能陷效应 模态耦合 

摘      要：针对中低频光刻工艺的小型化压电石英晶片,为解决双台面(BI-MESA)型压电石英晶片的寄生耦合振动的影响,以及封装过程中点胶区域对振动区域的力频效应影响导致温-频特性的阻抗跳动。提出一种带有沟槽的BI-MESA型AT切压电石英晶体谐振器,并通过有限元仿真谐响应分析方法,给出其振动幅-频分布情况和势能分布情况。仿真分析比较发现,晶体表面沟槽的设计可有效抑制振动传播到点胶区域产生力-频效应的影响,改善BI-MESA谐振器的振动特性。