硅基光子集成研究进展
Research progress of silicon-based photonic integration作者机构：中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室北京100083
出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)
年 卷 期：2014年第63卷第10期
页 面：1-8页
核心收录：
学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0704[理学-天文学] 0702[理学-物理学]
基 金：国家重点基础研究发展计划(批准号:2011CB301701) 国家高技术研究发展计划(批准号:2012AA012202) 国家自然科学基金(批准号:61275065)资助的课题~~
摘 要：报道了国际上关于硅基光子集成的最新研究进展和本课题组在该领域的研究成果,包括对一些光收发模块、III-V族/硅基激光器等集成器件的结构改进和工艺的探索,展示了兼容互补金属氧化物半导体工艺的硅基光子集成在信息技术领域中的巨大前景.可以预见,硅基光子集成已成为硅光子学的主要研究内容,硅光子学及硅基光子集成的发展目标是趋向更高速率、更低功耗及更大集成密度.
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