一种非旋转对称“花瓣形”相位板的检测系统设计

作     者：许英朝 张新 周平 XU Ying-chao;ZHANG Xin;ZHOU Ping

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心长春130033 中国科学院研究生院北京100049 美国亚利桑那大学光学中心图森az85721 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2009年第38卷第9期

页      面：2274-2278页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：中国科学院长春光机所三期创新重点支持项目(069Y32J060)资助 

主　　题：光学测量 位相板 计算全息 光学设计 

摘      要：提出了利用计算全息图检测非旋转对称的花瓣形位相板.分析并推导了光线经过花瓣形相位板传播中的高阶像差的理论公式,并以此为指导进行了花瓣形相位板的检测系统的设计,给出了设计的结果.讨论了计算全息图衍射级次的分离以及计算全息图的二元化,给出了振幅型的计算全息图的图样.计算全息图的刻线最小间隔是20μm,计算全息图的制作精度对检测结果的波前误差的影响仅仅为0.005λ.对检测系统作了详细的公差分析,结果表明所有调整公差对整个检测系统的影响和方根值为103.187 nm.